ACLS

ACLS 简况

Axcelis Technologies Inc为用于制造半导体芯片的离子注入和其他加工设备提供设计、制造和服务。该公司还提供售后生命周期的产品和服务，包括二手工具，备件，设备升级，维护服务和客户培训。该公司提供全系列的高能量、高电流和中电流注入器，可满足所有应用要求。其Purion系统都基于一个通用平台，可实现植入物纯度、精度和生产率的组合。其Purion H，Purion Dragon和Purion H200点束，大电流系统可满足所有高电流要求。其Purion XE高能系统将其射频（RF）直线加速器高能点束技术与Purion平台晶圆处理系统相结合。该公司还提供Purion M中等电流系统。其Purion M系统还为特殊应用提供差异化功能。