ACLS

ACLS 简况

Axcelis Technologies Inc设计、制造和服务用于半导体芯片制造的离子注入和其他处理设备。该公司提供售后市场生命周期产品和服务，包括二手工具、备件、设备升级、维护服务和客户培训。该公司提供了完整的高能量、大电流和中等电流注入机系列，可满足所有应用要求。该公司的Purion系统均基于一个通用平台，可实现植入物纯度、精度和生产力的结合。该公司的Purion H、Purion Dragon和Purion H200点束高电流系统可满足所有高电流要求。该公司的Purion XE和其他Purion高能系统将其射频（RF）直线加速器高能点束技术与Purion平台晶圆处理系统相结合。该公司提供Purion M Si和SiC中流系统。该公司的Purion M系统还为特殊应用提供差异化功能。